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无尘车间之构成结构
无尘车间主要由以下系统构成:空气净化系统、消防系统、物流系统、工艺管道系统、动力系统、照明系统以及维护结构及静电地面处理等系统。空调净化系统工程包含整个设备、器材的配套和建筑安装。
净化原理:气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
无尘室压差控制方法
无尘室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入无尘室 内的空气量适当的大于回风和排风量时,室内则可维持一定的正压值。此时,在室内外静压差的作用下,通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。
压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于,这样的高标准主要被应用在一些等级较高芯片生产上。对于洁净 空调系统来说,过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加,从而影响风量,排风设备的时开时停也会导致排风量的变化;此外,与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查,并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。
无尘室的维护与管理
正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提,在实际使用中,不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低,造成无尘室指标达不到要求。其他测试:除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还必须进行下述一项或若干项测试:温度—相对湿度—室内加热与冷却容量—噪声值—光照度—振动值。因此,正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要,并且这要从各方面来完善。对于无尘室中的各种设备,在无尘进入室内后,也要时常清洁灭菌,并且定期进行检查,防止无尘室内尘粒和微生物的产生、繁衍和滞留。
无尘车间中不可忽略的细节
空调净化工程重点关注节能空调在净化工程中的选择至关重要,因为在设计与施工中空调的耗能量,所以我们需关注节能措施。无尘室的维护与管理正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提,在实际使用中,不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低,造成无尘室指标达不到要求。在设计中,区域的以及系统的划分,送风量的计算,温度的相对稳定,洁净等级和换风次数的确定,风管的保温,以及法兰的链接是否完整、空调箱、冷水机组、风机等设备的选择都与能耗量息息相关,这些细节都是我们再 设计与施工中必须要考虑的细节。
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